S4800冷场发射扫描电子显微镜/ X射线能谱仪

生产厂家 日立/布鲁克 

安装年份 2009 

电话 18584331160

电子邮箱 xjwu@ciac.ac.cn

仪器现状 正常

仪器设备介绍：

该仪器可获取二次电子成像、背散射电子成像。SEM结合EDX点、线、面扫描可以进行微区能谱分析，主要用于无机材料微结构与微区组成的分析和研究。主要的应用范围包括除磁性材料之外的无机材料的微观形貌、颗粒尺寸、微区组成、元素分布等方面的分析。

主要规格及技术要求：

电子枪:冷场发射电子源

加速电压:0.530 kV（0.1 kV/步，可变）

放大倍率:×30～×800,000

EDAX能谱仪 (EDS)：Be4～U92

样品台旋转：0～360

样品台倾转：可倾转的范围与样品台尺寸及高度有关，需要先计算范围，再手动操作，并在倾转范围内留出至少1的余量。

仪器选件及功能：

X射线能谱仪（EDS）（用于样品成分分析）

背散射电子探头:获取原子序数衬度像

日立E-1010离子溅射仪：喷金

检测项目：

二次电子的表面形貌像、背散射电子的原子序数衬度像、成分分析、元素分布分析

主要工作：

1.观察无机纳米材料的形貌、粒度观察和分析； 

2.观察金属、 陶瓷、混凝土、生物、高分子、矿物、纤维等无机或有机固体材料的断口、表面形貌、变形层等；

3.金属镀层厚度及各种固体材料膜层厚度的测定；

4.材料表面微区成分的定性和定量分析

5.对材料中可检测元素进行分析，可以给出材料成分的定性及定量分析结果及与其微观结构相对应的元素分布