美国Ambios公司的台阶仪(表面轮廓仪，Surface Profilomer XP-100)可以对薄膜的厚度进行测量，如图。其基本原理是：将一个对微弱力极敏感的微悬臂一端固定，另一端有一微小的针尖，针尖与样品表面轻轻接触，由于针尖尖端原子与样品表面原子间存在极微弱的排斥力，通过在扫描时控制这种力的恒定，带有针尖的微悬臂将对应于针尖与样品表面原子间作用力的等位面而在垂直于样品的表面方向起伏运动。

台阶仪可以应用在半导体，太阳能电池，光电子，化合物薄膜，OLED，生物医药，PCB封装等领域的薄膜厚度，台阶高度，划痕深度，磨损深度等定量测量方面。其高精度，高重复性，自动探索样品表面，自动测量深受广大客户欢迎。

测量表面可以覆盖多种材料表面：金属材料、陶瓷材料、生物材料、聚合物材料等等，对于植物表面，生物材料，聚合物表面，光刻胶等“柔软表面”也可测量无须担心划伤或破坏。设备传感器精度高，稳定性好，热噪声低，垂直分辨率高。

名称：台阶仪（表面轮廓仪）

型号：XP-100

国别：美国

厂别：美国Ambios公司

日期：2013.10

价格：35万

仪器现状：正常

联系人：王刚

电话：0431-85262941 15756858863

电子邮件：wsu@ciac.ac.cn

扫描范围：55 mm（一般10 mm）；

大样品厚度：20 mm；

垂直扫描最大高度：1200 μm，测量范围（一般选择400 μm以下）

垂直分辨率：1?@10μm；15 ? @100μm，62 ? @400μm；

光学显微镜倍数88-247x（标准倍数100 x）；

针尖直径：2.5 μm；

7.X-Y样品台：手动

薄膜厚度

 

GB/T 11378-2005 金属覆盖层厚度测量 轮廓仪法

测量各种薄膜的厚度。

1. High Performance PbS Colloidal Quantum Dot Solar Cells by Employing Solution-Processed CdS Thin Films from a Single-Source Precursor as the Electron Transport Layer, Advanced Functional Materials, 2017, 27(46): 1703687;

2. Metal sulfide precursor aqueous solutions for fabrication of Cu2ZnSn(S,Se)(4) thin film solar cells, Green Chemistry, 2015, 17(2): 1269-1275;

3. A versatile strategy for fabricating various Cu2ZnSnS4 precursor solutions, Journal of Materials Chemistry C, 2017.2.21, 5: 3035-3041。

无

1. 国家自然科学基金培育项目-新颖的分子前驱体溶液法制备高效率的铜基薄膜太阳能电池

2. 国家自然科学基金面上项目-一系列新颖的半导体纳米晶的制备及其光伏应用

长春应化所、吉林大学、东北师范大学、吉林师范大学、长春工业大学、长春理工大学、华中科技大学、武汉理工大学等高校和研究所。