仪器名称 热场发射扫描电子显微镜/电子背散射衍射系统

型号 Quanta FEG 250 

生产厂家 FEI/牛津 

安装年份 2009 

仪器现状 正常

联系人 武晓杰

电话 18584331160

电子邮箱 xjwu@ciac.ac.cn

仪器设备介绍：

    该仪器可获取二次电子成像、背散射电子成像，探测电子背散射衍射花样。主要的应用范围包括除磁性材料之外的无机材料的微观形貌、颗粒尺寸、微区的晶体取向分析、相鉴定、应变分析和织构分析等方面的分析。

主要规格及技术要求：

电子枪：Schottky肖特基场发射电子枪，最大束流≥200nA

加速电压： 0.2kV－30KV

放大倍数：14倍－100万倍 

分辨率：二次电子 (SE) 像：

高真空模式：30 kV时优于1.0 nm；1 kV时优于3.0 nm

低真空模式：30 kV时优于1.4 nm；3 kV时优于3.0 nm

环境扫描模式 (ESEM)：30kV 时优于 1.4 nm

分辨率: 背散射电子 (BSE) 像：

高真空模式：30kV时优于2.5nm   低真空模式：30kV时达到2.5 nm

物镜光阑：物镜光阑应能自加热自清洁

样品台：

四轴马达驱动，全对中样品台；移动范围：X = 50mm，Y = 50mm，Z = 50mm，

T = -15° to +75° (手动)；R= 360°连续旋转

样品室尺寸: 左右内径 284mm

重复精度：2μm (X/Y 方向)

仪器选件及功能：

背散射电子探头:获取原子序数衬度像

低真空探头：低真空模式获取二次电子像，背散射电子像

环境扫描探头：环境扫描模式获取二次电子像

日立E-1010离子溅射仪：喷金

电子背散射衍射系统：微区的晶体取向分析、相鉴定、应变分析和织构分析

检测项目：

二次电子的表面形貌衬度像、背散射电子的原子序数衬度像、EBSD衍射花样

主要工作：

1.观察无机纳米材料的形貌、粒度观察和分析； 

2.观察金属、 陶瓷、混凝土、生物、高分子、矿物、纤维等无机或有机固体材料的断口、表面形貌、变形层等；

3.金属镀层厚度及各种固体材料膜层厚度的测定；

4.获取样品的微区电子背散射衍射花样