仪器名称：球差校正透射电子显微镜

型号：Themis Z     

生产厂家：ThermoFisher  

安装年份：2021年

联系人：邓瑞平 

电话：0431-85262179       

电子邮箱：dengrp@ciac.ac.cn   

价格：2000万元    

仪器设备介绍：

该仪器配备了Image球差矫正器、Probe球差矫正器、超亮枪、单色器、Super-X EDS能谱；Gatan 965型电子能量损失谱、Ceta2 CMOS 4K相机、STEM、BF、DF探头等；配有洛伦兹透镜、三维重构及低剂量曝光技术等功能；有300/200/60 kV三个工作电压，可以在原子尺度上进行材料结构和成分表征和分析，获得高质量的HRTEM、HRSTEM、电子衍射图像等信息，通过EDS和EELS等选件，可以进行原子尺度的材料成分和价态表征；通过三维重构选件，可以获得材料三维空间的结构和成分信息等。

主要规格及技术要求：

三个工作电压： 300/200/60 kV；

分辨率: TEM: 60 pm@300 kV, 100 pm@60 kV；

STEM: 60 pm@300 kV, 110 pm@60 kV；

能量分辨率：0.2 eV（加单色器）；

EDS能谱分辨率：133 eV，元素测试范围B(5)-Am(95)；

电子能量损失谱：单色性：＜2 eV；色差：＜0.5%；畸变：＜0.75%；CCD像素：2048×2048；配备UltraFast EELS系统

双倾样品杆最大倾斜角：α：±40°；β：±30°；

三维重构：最大倾角：±70°；最小步长：0.2°

仪器选件及功能：

Super-X EDS能谱，用于样品元素分析，一般用于重元素分析；

GIF 965电子能量损失谱：用于元素分析和价态表征等，尤其对轻元素分析有优势；

三维重构，可以获得样品三维尺度的信息；

低工作电压和低剂量曝光技术，可以用于一些电子束敏感材料的表征；

检测项目：

原子级分辨TEM/STEM及成分表征分析、选区电子衍射、元素价态分析、电子束敏感材料表征、三维重构等

主要工作：

1. 材料原子级分辨的形貌及结构表征分析；

2. 材料原子级分辨的成分分析及价态分析；

3. 材料形貌和成分三维重构；

4. 电子束敏感材料表征；

5. 无场环境大视野观察